特許

J-GLOBAL ID：200903085099430240

送液装置

発明者： 堀江 邦明 ,  福永 由紀夫 ,  本郷 明久
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-055506
公開番号（公開出願番号）：特開平10-238470
出願日： 1997年02月24日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：

【要約】【課題】 摺動部を直接液に接することなく、従って、パーティクルによる汚染を防止して清浄な状態で次工程に供給することができ、また、修理やメンテナンスが容易であるような送液装置を提供する。【解決手段】 取扱液流通孔22を有する固定壁14と、該固定壁との間に容積可変な取扱液空間18を構成する変形可能な可動壁12と、該可動壁を微小変形させる微動機構44とを有する。

請求項（抜粋）：

取扱液流通孔を有する固定壁と、該固定壁との間に容積可変な取扱液空間を構成する変形可能な可動壁と、該可動壁を微小変形させる微動機構とを有することを特徴とする送液装置。

IPC (5件)：

F04B 43/06 ,  B01J 4/00 103 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  B01F 3/08

FI (5件)：

F04B 43/06 A ,  B01J 4/00 103 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 B ,  B01F 3/08 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭50-106206
  
• 特開昭62-178785