特許

J-GLOBAL ID：200903085099656086

X線分析装置

発明者： 河野 久征 ,  小林 寛 ,  倉岡 正次
出願人/特許権者： 理学電機工業株式会社
代理人 (1件)： 杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-034478
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201320
出願日： 1995年01月30日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】 試料から発生する測定対象の元素が窒素等の超軽元素であっても、特性X線とそのバックグラウンドについて、検出器や分光素子を移動させることなく、正確に測定できるX線分析装置を提供する。【構成】 試料3から発生する測定対象の元素からの特性X線14とそのバックグラウンド15について、それぞれに対応した2枚の弯曲分光素子7,8を用いて分光し、単一の検出器17の前に隣接して設けた2つの受光スリットQ1 ,Q2 にそれぞれ焦点を結ばせて、この2つの受光スリットQ1 ,Q2 を交互に開放するX線分析装置。

請求項（抜粋）：

1次X線を発生するX線源と、1次X線が照射された試料から発生する2次X線を通過させる発散スリットを有する発散スリット部材と、前記発散スリット部材を通過した発散2次X線の通路に互いに並列に配置された2枚の弯曲分光素子と、前記2枚の弯曲分光素子でそれぞれ回折された測定対象の元素からの特性X線とそのバックグラウンドを通過させる受光スリット装置と、前記受光スリット装置を通過した前記特性X線とそのバックグラウンドが入射される単一の検出器とを備え、前記受光スリット装置は、前記特性X線とそのバックグラウンドの一方と他方をそれぞれ通過させる受光スリットを2つ開口した受光スリット部材と、前記2つの受光スリットのいずれかを選択的に開放して、前記特性X線とそのバックグラウンドとのいずれかを前記検出器に入射させる選択開放手段とを備えたX線分析装置。