特許
J-GLOBAL ID：200903085102405499
微小構造体、およびその製造方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-010907
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202757
出願日： 1997年01月24日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】【課題】 加工工具の破損を招くことなく製造することができ、平滑な曲面を持つ三次元立体形状を有し、より微小かつ精密であり、使用に際し変形,破損,傷等の発生を防止して取扱性に優れた微小構造体を提供する。【解決手段】 被加工材4を構成する紫外線硬化樹脂に半硬化状態となるよう紫外線を照射することにより、紫外線硬化樹脂は加工抵抗の少ない状態となり、この加工抵抗の少ない状態で加工して微小構造化することで、加工工具の破損防止が可能となる。従って、微細工具を用いることができるので、その微細工具の位置を連続的に三次元制御を行うことで、平滑な曲面を持つ三次元立体形状を有し、より微細かつ精密な微少構造体を製造することが可能となる。加工後は、必要な機械的強度を備える硬化状態となるよう第2の紫外線照射光源9から紫外線硬化樹脂に紫外線を照射することで、使用に際し変形,破損,傷等の発生が防止される。
請求項（抜粋）：
反応硬化性材料によって形成された微少構造体において、要求される形状精度あるいは寸法精度に応じて前記反応硬化性材料の半硬化状態の硬度を選択して加工され、加工後の硬化によって所定の形状,寸法,物性を得た三次元立体形状を有する微小構造部を備えたことを特徴とする微小構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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