特許
J-GLOBAL ID：200903085103040702
波長が193nm以下の照明光学系のための集光器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邊 隆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-013558
公開番号（公開出願番号）：特開2002-319537
出願日： 2002年01月22日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：
【要約】【課題】 均一な照明を行なうことのできる照明光学系の集光器を提供する。【解決手段】 本発明は、好適にはEUV波長を用いる照明光学系の集光器に関する。この集光器は、光源からの光を受容する物側の開口と、この物側の開口の環状開口要素がそれぞれに割り当てられた、入れ子式の多数の反射鏡椀形状部とを有している。この集光器は、複数の環状要素から成る或る平面に、照明すべき領域を有している。そして、各々の複数の環状要素には、上記環状開口要素が割り当てられている。本発明は、このような集光器において、上記環状開口要素が重なり合わず、しかも、上記環状要素が重なり合わずに上記平面で概ね隣り合わせで連続的につながり、上記反射鏡椀形状部の、回転軸方向の大きさ、表面パラメータ、および位置が、上記環状要素での照射強度がそれぞれほぼ同じになるように構成されていることを特徴としている。
請求項（抜粋）：
波長が193nm以下、好ましくは126nm以下、特に好ましくはEUV波長を用いる照明光学系のための集光器であって、光源(1)から放射される光を受け入れる物側の開口と、共通の回転軸周りに入れ子式に設けられた多数の反射鏡椀形状部(40,42,44,46;60,62,64,66,68,70,72,74,78,80;200,202,204,205,206,207,208,209)と、平面(7)に環状要素(30,32,34;230,232,234)から成る照明すべき領域とを有し、多数の前記反射鏡椀形状部の各々には、物側の開口の環状開口要素(20,22,24;210,212,214)が割り当てられ、かつ、前記環状要素(30,32,34;230,232,234)の各々には、前記環状開口要素(20,22,24;210,212,214)が割り当てられている集光器において、複数の前記環状開口要素(20,22,24;210,212,214)が重なり合わず、複数の前記環状要素(30,32,34;230,232,234)が重なり合わずに前記平面(7)で略連続的に隣り合ってつながり、前記反射鏡椀形状部(40,42,44,46;60,62,64,66,68,70,72,74,78,80;200,202,204,205,206,207,208,209)の、前記回転軸方向の大きさ、表面パラメータ、および位置は、前記平面(7)における前記個々の環状要素(30,32,34;230,232,234)の照射強度が略同じになるように構成されていることを特徴とする集光器。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G02B 5/10
, G03F 1/16
, G03F 7/20 503
G02B 5/10 A
, G03F 1/16 A
, G03F 7/20 503
, H01L 21/30 531 A
, H01L 21/30 527
, H01L 21/30 517
2H042DA01
, 2H042DA05
, 2H042DB02
, 2H042DB14
, 2H042DC02
, 2H042DD04
, 2H042DD06
, 2H042DD07
, 2H042DE00
, 2H095BA10
, 2H097AA03
, 2H097CA06
, 2H097CA15
, 2H097LA10
, 5F046CA08
, 5F046CB02
, 5F046CB14
, 5F046CB23
, 5F046DA11
, 5F046GA03
, 5F046GB01
