特許

J-GLOBAL ID：200903085104589767

塗布装置

発明者： 鶴岡 保次
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (6件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-114747
公開番号（公開出願番号）：特開2004-314012
出願日： 2003年04月18日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】基板の表面に短時間で均一な厚さに溶液を塗布できる塗布装置を提供すること。【解決手段】基板Wを搬送するテーブルと、このテーブルの上側に設けられ、基板Wの搬送方向と交差するスリット状のノズル14を備えたヘッド7と、このヘッド7内に設けられ、通電により駆動して上記ノズル14から溶液を噴射させる圧電振動子とを具備する。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

基板の表面に溶液を噴射塗布する塗布装置において、 基板の上側に設けられ、溶液の塗布方向と交差するスリット状のノズルを備えたヘッドと、 このヘッド内に設けられ、通電により駆動して上記ノズルから溶液を噴射させる圧電振動子と、 を具備することを特徴とする塗布装置。

IPC (2件)：

B05C5/00 ,  G02F1/13

FI (2件)：

B05C5/00 101 ,  G02F1/13 101

Fターム (7件)：

2H088FA30 ,  2H088HA03 ,  2H088HA12 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13