特許

J-GLOBAL ID：200903085110864605

膜形成のための前駆体およびルテニウム含有膜を形成するための方法

発明者： クリスチャン・デュサラ ,  柳田 和孝 ,  ガティノウ、ジュリエン
出願人/特許権者： レール・リキード-ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
代理人 (12件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  砂川 克 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-532987
公開番号（公開出願番号）：特表2008-514812
出願日： 2005年09月26日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：

少なくとも1種の不燃性溶媒、好ましくは一般式CxHyFzOtNu(式中、2x+2y<=y+zであり、2<=x<=15であり、z>yであり、t+u>=1(t+uは好ましくは1である)であり、x、y、z、tおよびuは自然数である)を有するフッ素化された溶媒中に溶解させた四酸化ルテニウムを含む、ルテニウム膜堆積のための前駆体。

請求項（抜粋）：

一般式CxHyFzOtNu(式中、2x+2y≦y+z、2≦x≦15、z>y、およびt+u≧1であり、x、y、z、tおよびuは自然数である)を有する不燃性のフッ素化された溶媒中に溶解させた四酸化ルテニウムを含む、ルテニウム含有膜形成のための前駆体。

IPC (2件)：

C23C 16/14 ,  H01L 21/285

FI (2件)：

C23C16/14 ,  H01L21/285 C

Fターム (27件)：

4K030AA01 ,  4K030AA17 ,  4K030AA18 ,  4K030BA01 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA01 ,  4K030FA10 ,  4K030JA09 ,  4K030JA10 ,  4K030LA15 ,  4M104AA01 ,  4M104AA10 ,  4M104BB04 ,  4M104BB16 ,  4M104BB18 ,  4M104BB30 ,  4M104BB32 ,  4M104BB36 ,  4M104DD24 ,  4M104DD45 ,  4M104EE02 ,  4M104EE16 ,  4M104FF13 ,  4M104HH08 ,  4M104HH09 ,  4M104HH20