黒膜作製装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054789
公開番号（公開出願番号）：特開平7-241512
出願日： 1994年03月02日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】黒膜製作装置において、小孔の幾何学的形状・小孔表面の化学的性質を制御することにより、再現性の良い安定な黒膜の作製を可能にする。【構成】ガラス基板等の平面性の良い基板に、エッチングなどにより一方の端面が鋭角であるような小孔をあけ、これに疎水化処理を含むパターニングを施す。この平面性の良い鋭角の端面に黒膜を展開すると、エッジのところにリン脂質分子が固定されるため、再現性の良い安定な黒膜が作製できる。

請求項（抜粋）：