水晶振動子及びその製造法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-055011
公開番号（公開出願番号）：特開2002-261574
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：

【要約】【目的】生産性を向上し、接合強度を高めて製造を容易にした水晶振動子及びその製造方法を提供する。【構成】振動子用水晶片と補強板とを直接接合したことを基本とする。そして、振動子用水晶片をATカットとして、エッチングによる貫通孔の形成された補強板を水晶板からなるZカットとする。また、振動子用水晶ウェハとエッチングによる貫通孔が設けられた補強用水晶ウェハとを直接接合し、又は振動子用水晶片と補強用水晶ウェハとを直接接合して補強用水晶ウェハに複数の貫通孔をエッチングによって形成し、振動子用水晶片の貫通孔と対向する両主面に励振電極を形成するとともに、貫通孔に生じて結晶のZ′軸に斜交する傾斜面に記励振電極と接続する引出電極を形成した後、振動子用水晶片と補強板とが接合した個々の水晶振動子に分割する。また、振動子用水晶片をATカットとして、エッチングによる貫通孔の形成された補強板をガラス板とする。

請求項（抜粋）：

振動子用水晶片とエッチングによる貫通孔が設けられた補強板とを接合してなる水晶振動子において、前記振動子用水晶片と前記補強板とを直接接合し、前記振動子用水晶片をATカットとして前記補強板を水晶板からなるZカットとしたことを特徴とする水晶振動子。

IPC (4件)：

H03H 9/19 , H01L 41/09 , H01L 41/22 , H03H 3/02

FI (4件)：

H03H 9/19 A , H03H 3/02 B , H01L 41/08 C , H01L 41/22 Z

Fターム (5件)：

5J108BB03 , 5J108CC04 , 5J108KK01 , 5J108MM08 , 5J108MM11

引用特許：

審査官引用 (10件)

圧電デバイスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-116699 出願人：松下電器産業株式会社
水晶振動子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-202631 出願人：日本電波工業株式会社
特開平3-137100

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