特許

J-GLOBAL ID：200903085130202390

光スペクトル検出装置

発明者： 浪川 敏之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-269137
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089668
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】検出平面での各波長間の像の位置が、各波長間の波長差に比例する光スペクトル検出装置を提供する。【解決手段】回折格子1によって分光した光を集光光学系2によって光検出器3の検出平面3a上に集光した光スペクトル検出装置において、回折格子1の法線Nと集光光学系2の光軸zとを平行に配置し、且つ集光光学系2をf・sinθレンズによって構成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

回折格子によって分光した光を集光光学系によって光検出器の検出平面上に集光した光スペクトル検出装置において、前記回折格子の法線と前記集光光学系の光軸とを平行に配置し、且つ前記集光光学系をf・sinθレンズによって構成したことを特徴とする光スペクトル検出装置。