特許
J-GLOBAL ID：200903085136650506
SOR用ミラー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-278330
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087991
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 反射率を向上させる。【構成】 耐熱性セラミックス基材1の表面に、CVD法によりコーティングされ、上面に研磨を施した所要厚さのSiC膜3,4を、少なくとも2層積層することにより、下層側のSiC膜上面の研磨によって、上層側のSiC膜の結晶の成長や異方性を抑制し、SiC膜全体の厚さが厚くなっても欠陥を少なくする。
請求項（抜粋）：
耐熱性セラミックス基材の表面に、CVD法によりコーティングされ、上面に研磨を施した所要厚さのSiC膜を、少なくとも2層積層したことを特徴とするSOR用ミラー。
IPC (3件)：
G21K 1/06
, G02B 5/08
, H05H 13/04
