特許

J-GLOBAL ID：200903085143411290

本体内の関連した素子、特に電子素子の分離方法

発明者： ギュンター・イゲール ,  マルティン・マール
出願人/特許権者： ドイチェ・アイティーティー・インダストリーズ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクタ・ハフツンク
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-274775
公開番号（公開出願番号）：特開平9-181019
出願日： 1996年10月17日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、クラックを発生しないで本体内の関連した素子を分離する方法を提供することを目的とする。【解決手段】 本体1の電子素子2等の素子をそれらの間にある分離領域3をエッチングして除去することによって分離が行われ、薄化されるべき本体1の領域において、分離領域3に開口5を有している材料除去プロセスを遅延する遅延層4が設けられており、それによって図のb,cのように分離領域3が除去されて分離されることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

本体の分離領域から材料を除去することによって素子の分離が行われ、薄化されるべき本体の領域において、分離領域に開口を有している材料除去プロセスを遅延する遅延層が設けられていることを特徴とする本体内の関連した素子を分離する方法。

FI (2件)：

H01L 21/78 S ,  H01L 21/78 L

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 半導体装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-093750   出願人：三菱電機株式会社