特許
J-GLOBAL ID:200903085144863136

光発散特性測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-243760
公開番号(公開出願番号):特開平6-094515
出願日: 1992年09月11日
公開日(公表日): 1994年04月05日
要約:
【要約】【目的】再現性の良い測定データが短時間の間に得られ、しかも過度的に変化する途中の光強度分布も測定することのできる光発散特性測定装置を提供する。【構成】測定装置は、対物レンズ12とラインセンサー14を有している。対物レンズ12は、その光軸が測定対象物Sの表面に直交するように配置される。対物レンズ12は好適にはその焦点が測定点に一致するように配置される。この対物レンズ12の後方にラインセンサー14が配置されている。ラインセンサー14は、一定のピッチで一列に並んだ複数の受光素子を有し、受光素子は受光強度に応じた電気信号を出力する。
請求項(抜粋):
測定対象物の測定点から発散する光の角度に対する強度分布を測定する装置であって、受光した光をその強度に応じた電気信号に変換する受光素子を複数有し、この複数の受光素子は少なくとも一方向に並んでいる、その方向に沿った強度分布を測定する強度分布測定手段と、測定点から発散する光を集光し、所定の角度で射出した光を所定の位置の受光素子に導くレンズ系とを備えている光発散特性測定装置。
IPC (3件):
G01J 1/00 ,  G01J 1/02 ,  G01M 11/00
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開昭62-091833
  • 特開昭59-120932
  • 特開平2-173508
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