特許

J-GLOBAL ID：200903085150861048

太陽電池及び太陽電池の製造方法

発明者： 米倉 義道
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-224224
公開番号（公開出願番号）：特開2000-058890
出願日： 1998年08月07日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】 発電膜中の欠陥を防止する。【解決手段】 ガラス基板1上には、第1及び第2の透明電極膜21,22が成膜され、その上に非晶質シリコン発電膜3と金属電極膜4が成膜される。第1の透明電極膜21の上面には凹凸表面形状が形成され、入射した太陽光の光路を曲げて発電効率を向上させている。第2の透明電極膜22は、上記凹凸表面形状の凹部にのみ成膜され、これにより急峻な凹部を無くしている。このため、凹部を起源とする非晶質シリコン発電膜3中の欠陥の発生を防止することができる。

請求項（抜粋）：

透明性基板の上に透明電極膜が成膜され、この透明電極膜の上に発電膜が成膜され、この発電膜の上に金属電極膜が成膜されて構成されている太陽電池において、前記透明電極膜は、酸化錫を主成分とし上面に0.05〜0.5μmの範囲の高低差のある凹凸表面形状を持つ第一の透明電極膜と、酸化亜鉛を主成分とし第一の透明電極膜の凹凸表面形状の凹部のみに選択的に積層させた第二の透明電極膜とでなることを特徴とする太陽電池。

FI (2件)：

H01L 31/04 B ,  H01L 31/04 M

Fターム (9件)：

5F051AA05 ,  5F051BA17 ,  5F051CB12 ,  5F051FA02 ,  5F051FA03 ,  5F051FA17 ,  5F051FA18 ,  5F051FA19 ,  5F051GA03