特許
J-GLOBAL ID：200903085152210664
力学量センサおよびインク残量計
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-073387
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271323
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【目的】 本発明は歪抵抗素子により重量を検出する力学量センサに関するもので、センサの低電流ノイズ化、高精度化を目的とする。【構成】 金属基板1a上に、高軟化点のセラミックス材料を点在させた絶縁体層2からなる絶縁層を設け、その表面に導体4と歪抵抗素子5を焼成した構成を有する。これにより、焼成中の絶縁体層2の歪抵抗素子5への拡散をセラミックス材料が抑制するので、歪抵抗素子5が正規の導電パスを形成でき、低電流ノイズで高精度の力学量センサを提供することができる。
請求項（抜粋）：
重量の加わる金属基板と、前記金属基板の表面を被覆するように焼成した絶縁体と、前記絶縁体表面に焼成した歪抵抗素子と、前記歪抵抗素子に接続するように焼成した導体とを有し、前記金属基板に印加した重量を前記歪抵抗素子の抵抗値の変化として検出し、電気的に出力する力学量センサにおいて、前記絶縁体が絶縁体焼成温度より低い軟化点を有するガラス材料と、絶縁体焼成温度より高い軟化点を有するセラミックス材料の混合体で構成されることを特徴とする力学量センサ。
IPC (5件)：
G01G 3/14
, B41J 2/175
, G01B 7/16
, G01F 23/20
, G01L 1/22
G01G 3/14
, G01F 23/20
, G01L 1/22 M
, B41J 3/04 102 Z
, G01B 7/18 G
