感光性フィルム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-334603
公開番号（公開出願番号）：特開平6-180503
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：

【要約】【目的】レジストの成膜性を悪化させることなく、微細凹凸表面への追従性および現像性に優れたレジストフィルムを開発すること。【構成】平均分子量が10万未満,好ましくは1万以下である未硬化の感光性樹脂マトリックス中に、耐熱性微粉末を分散してなる組成物が、シート状に形成されているレジストフィルムであり、より望ましくは、前記耐熱性微粉末が、予め硬化された耐熱性樹脂微粉末または無機微粉末のいずれかであり、その配合量が感光性樹脂マトリックスに対して5〜80 vol%で、その平均粒径が0.01〜10μmの範囲にあるレジストフィルムである。

請求項（抜粋）：