特許
J-GLOBAL ID：200903085161589838
導波路構造及びその製造方法、並びにそれを用いた表面プラズモン共鳴センサと屈折率変化測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
雨宮 正季
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-333145
公開番号（公開出願番号）：特開2004-170095
出願日： 2002年11月18日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：
【課題】表面プラズモン共鳴センサにおいて、測定対象物が光吸収を持つ場合の屈折率変化の測定の確度を向上させる導波路構造及びその製造方法、表面プラズモン共鳴センサ、屈折率変化を測定方法を提案する。【解決手段】測定用の光を入射する導波路コア層1に金属薄膜2が積層され、更に金属薄膜上に前記導波路コア層より高い屈折率を持ち、かつ、前記導波路コア層に入射する測定用の光の光波長の100から10分の1の厚さを持つ誘電体膜3を形成した導波路構造およびこれにサンプル層4を形成した表面プラズモン共鳴センサ、さらにこのセンサを使用した屈折率変化測定方法である。【効果】表面プラズモン共鳴センサにおいて、測定対象物が光吸収を持つ場合の屈折率変化の測定の確度を向上できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
測定用の光を入射する導波路コア層に金属薄膜が積層され、更に金属薄膜上に前記導波路コア層より高い屈折率を持ち、かつ、前記導波路コア層に入射する測定用の光の光波長の100から10分の1の厚さを持つ誘電体膜を形成したことを特徴とする導波路構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/27 C
, G01N21/41 Z
2G059AA01
, 2G059AA02
, 2G059BB04
, 2G059DD01
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059EE12
, 2G059GG04
, 2G059GG10
, 2G059HH01
, 2G059HH02
, 2G059HH06
, 2G059JJ12
, 2G059JJ17
, 2G059JJ19
, 2G059KK04
