特許

J-GLOBAL ID：200903085170040008

基板吸着載置台

発明者： 青柳 昌行 ,  石野 正信
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立エレクトロニックデバイシズ株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-013478
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201789
出願日： 1995年01月31日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】 基板がたとえ湾曲していても充分な位置決めおよび位置保持の達成を図る。【構成】 載置されるべく基板の中央部に位置づけられる個所に配置される真空吸着台と、前記基板の周辺に位置付けられる個所に配置される支持台とを備える基板吸着載置台において、前記真空吸着台はその基板吸着面が前記支持台の基板当接面よりも突出して配置されているとともに、前記基板の載置による押圧によって該基板側に附勢力をともなって下降するように構成されている。

請求項（抜粋）：

載置されるべく基板の中央部に位置づけられる個所に配置される真空吸着台と、前記基板の周辺に位置付けられる個所に配置される支持台とを備える基板吸着載置台において、前記真空吸着台はその基板吸着面が前記支持台の基板当接面よりも突出して配置されているとともに、前記基板の載置による押圧によって該基板側に附勢力をともなって下降するように構成されていることを特徴とする基板吸着載置台。