特許

J-GLOBAL ID：200903085175816900

液中微粒子測定システム

発明者： 湯原 義公 ,  鈴木 理一郎
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-037049
公開番号（公開出願番号）：特開平11-316185
出願日： 1999年02月16日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】 試料液中に気泡が生ずることがあっても、これを安価な構成によって確実に除去することができ、精度の高い測定を行うことができるとともに、全体構成がコンパクトな液中微粒子測定システムを提供すること。【解決手段】 測定セル8内に試料液2を流通させた状態で測定セル8に対して光を照射し、試料液2に含まれる微粒子から生ずる散乱光を光検出器25で検出し、その出力に基づいて微粒子の数を計数する液中微粒子測定システムにおいて、前記測定セル8の上流側に、試料液2を冷却して試料液中に混在する気泡を溶解させるための冷却装置6と、試料液中に混在する気泡を試料液から分離除去するための脱泡装置7とを互いに直列にした状態で設けるとともに、前記脱泡装置7の上部に設けられる気泡排出口20を前記測定セル8の下流側に接続した。

請求項（抜粋）：

測定セル内に試料液を流通させた状態で測定セルに対して光を照射し、試料液に含まれる微粒子から生ずる散乱光を光検出器で検出し、その出力に基づいて微粒子の数を計数する液中微粒子測定システムにおいて、前記測定セルの上流側に、試料液を冷却して試料液中に混在する気泡を溶解させるための冷却装置と、試料液中に混在する気泡を試料液から分離除去するための脱泡装置とを互いに直列にした状態で設けるとともに、前記脱泡装置の上部に設けられる気泡排出口を前記測定セルの下流側に接続したことを特徴とする液中微粒子測定システム。

IPC (2件)：

G01N 15/14 ,  H01L 21/304 648

FI (3件)：

G01N 15/14 P ,  G01N 15/14 A ,  H01L 21/304 648 G