特許
J-GLOBAL ID:200903085179893674

インクジェットヘッドおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 和秀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-046132
公開番号(公開出願番号):特開平9-239975
出願日: 1996年03月04日
公開日(公表日): 1997年09月16日
要約:
【要約】【課題】 オリフィスの加工形状が良好で耐インク性にすぐれた金属製のオリフィスプレートを有し、高速駆動が可能なインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】 ヒーター25を内蔵しNi層27をインク室44の隔壁とする第1圧力発生部材30と、上部金属層38と下部金属層34との間にヒーター36を内蔵し上部金属層38から下部金属層34にかけて貫通するオリフィス41を有し下部金属層34をインク室44の隔壁とする座屈変形オリフィスプレートである第2圧力発生部材42とを、前記インク室44を形成するようにスペーサ43を介して接着してある。オリフィス41を形成するもとのドライフィルムやフォトレジストからなるオリフィス部固体層33をエキシマレーザー光39の照射により化学的に分解除去する。
請求項(抜粋):
基板上にレジストからなるオリフィス部固体層を形成し、前記基板上に前記オリフィス部固体層を除いて金属層を積層した後、前記オリフィス部固体層をエキシマレーザー光の照射により化学的に分解除去して前記金属層にオリフィス部を形成し、さらに前記基板を除去することにより金属層にオリフィスが形成された金属製のオリフィスプレートを作製することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件):
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/135
FI (2件):
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 N
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平2-188256
  • 特開平4-014458
  • インクジェットヘッド
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-115322   出願人:シャープ株式会社
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