特許
J-GLOBAL ID：200903085181321386
熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-087525
公開番号（公開出願番号）：特開平5-025642
出願日： 1991年03月26日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：
【要約】【目的】熱処理用の反応管の例えば下方にて、ウエハをウエハボートに着脱するときに、その着脱を確実に行うこと。【構成】ウエハの着脱領域に温度差にによる伸縮率の小さい材料により作られた熱遮断板21dを上下方向に伸びるように配置し、これに例えば80cmの相互高さ距離をもって一対の位置検出センサS1、S2を取り付ける。ウエハボート21が位置検出センサS1、S2間を昇降したときのエンコーダEのパルス数を駆動補正部Tで読取り、例えば常温時の同様のパルス数と比較して、その結果に応じてモータ制御部MCの制御動作を補正する。従ってボールネジ部21aの伸長に対応してモータMの単位駆動量が補正される。
請求項（抜粋）：
多数の被処理体を搭載した被処理体収納部を反応管内にロードして熱処理を行い、前記反応管の開口部に対向する領域にて、前記収納部に対する被処理体の着脱を行う熱処理装置において、前記収納部に対して駆動機構により、相対的にかつ、間欠的に移動し、この移動のタイミングに対応して前記被処理体の着脱を行う移載機構と、前記収納部または移載機構の移動路に沿って互いに間隔をおいて配置された一対の位置検出部と、この一対の位置検出部間を前記収納部または移載機構が移動したときの、前記駆動機構の駆動量にもとづいて、当該駆動機構の間欠的動作を補正する駆動補正部とを設けたことを特徴とする熱処理装置。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭60-258459
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特開昭58-060553
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