特許

J-GLOBAL ID：200903085184042577

電子分光装置及びそれを用いた測定方法

発明者： 吉田 茂樹
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-199698
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027623
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】 絶縁性の試料の帯電を防ぐために改良された電子分光装置を提供する。【解決手段】 電離放射線をプローブとして試料に照射し、試料から放出される電子の量を運動エネルギー別に検出する電子分光装置において、試料1表面に設置する導電性マスク2とこれにバイアスを印加する手段3とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電離放射線をプローブとして試料に照射し、試料から放出される電子の量を運動エネルギー別に検出する電子分光装置において、試料表面に設置する導電性マスクとこれにバイアスを印加する手段とを具備したことを特徴とする電子分光装置。

IPC (2件)：

G01N 23/227 ,  H01J 37/20

FI (2件)：

G01N 23/227 ,  H01J 37/20 H

Fターム (27件)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001AA07 ,  2G001AA10 ,  2G001AA20 ,  2G001BA08 ,  2G001BA09 ,  2G001CA03 ,  2G001EA09 ,  2G001GA01 ,  2G001GA09 ,  2G001KA01 ,  2G001KA12 ,  2G001LA06 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001NA03 ,  2G001NA07 ,  2G001NA13 ,  2G001NA17 ,  2G001NA20 ,  2G001PA07 ,  2G001QA01 ,  2G001SA10 ,  5C001AA01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC05