偏光ビームスプリッター

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：臼村文男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-115166
公開番号（公開出願番号）：特開平8-286034
出願日： 1995年04月17日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】プリズム面に多層膜を形成した偏光ビームスプリッタにおいて、高屈折率層をアルミナで形成することにより、接合前の保存安定性、接合後の耐剥離性、耐久性、分光特性安定性を実現し、消光比も良好である。【構成】高屈折率層Hと低屈折率層Lとの交互積層膜13をプリズム11,21の間に挾み込んでなる偏光ビームスプリッターにおいて、高屈折率層Hがアルミナを主体とする薄膜からなる偏光ビームスプリッター。

請求項（抜粋）：

高屈折率層と低屈折率層との交互積層膜をプリズム面の間に挾み込んでなる偏光ビームスプリッターにおいて、前記高屈折率層がアルミナを主体とする薄膜からなることを特徴とする偏光ビームスプリッター。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-067163
特開昭64-078201
特開昭62-067163

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