特許
J-GLOBAL ID：200903085199693825
走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-119905
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331308
出願日： 1993年05月21日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 簡単に試料交換を行うことができる走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置を提供する。【構成】 ホルダケース部4に試料固定部3を取り付けて試料固定部3に試料5を固定する試料ホルダ1、及び試料固定部3と接触する周囲部分に配置した熱伝導部16と該熱伝導部16を本体から断熱する断熱材18と熱伝導部16を冷却する冷却装置12とを有し試料ホルダ1を背面側から装着するように構成した試料ステージ11からなる。この構成により、試料ホルダ1が試料ステージ11の背面側から着脱でき、簡単に試料交換を行うことができる。
請求項（抜粋）：
試料を低温に冷却した状態で探針と試料との間に流れるトンネル電流を検出しながら探針で試料面を走査し像観察を行う走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置であって、ホルダケース部に試料固定部を取り付けて試料固定部に試料を固定する試料ホルダ、及び試料固定部と接触する周囲部分に配置した熱伝導部と該熱伝導部を本体から断熱する断熱材と熱伝導部を冷却する冷却装置とを有し試料ホルダを背面側から装着するように構成した試料ステージからなることを特徴とする走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置。
IPC (2件)：
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