特許
J-GLOBAL ID：200903085202610120
基板スクラブ洗浄用スクラバー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-130861
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326473
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】 四角形の基板のスクラブ洗浄の際に、洗浄不良、傷の発生がなく、耐久性のあるスクライブ洗浄用スクラバー。【構成】 回転ロール1を有し、その軸と直交する中心法線を軸として回転する略四角形の基板4に接触させて基板4をスクラブ洗浄する基板スクラブ洗浄用スクラバー3であって、基板4の内接円内領域に接触する回転ロール1部分に布21を植設し、基板4の内接円外領域に接触する回転ロール1部分に毛ブラシ22を植設して構成されている。
請求項（抜粋）：
回転ロールを有し、その軸と直交する中心法線を軸として回転する略四角形の基板に接触させて基板をスクラブ洗浄する基板スクラブ洗浄用スクラバーにおいて、基板の内接円内領域に接触する回転ロール部分に布を植設し、基板の内接円外領域に接触する回転ロール部分に毛ブラシを植設してなることを特徴とする基板スクラブ洗浄用スクラバー。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, A46B 7/10
, B08B 1/04
, G03F 1/08
