特許

J-GLOBAL ID：200903085206428032

石英ガラス円筒体及びその内面研磨装置

発明者： 須釜 明彦 ,  水野 徹
出願人/特許権者： 信越石英株式会社 ,  株式会社アトック
代理人 (1件)： 石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038792
公開番号（公開出願番号）：特開2000-239033
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：

【要約】【課題】ダイヤモンドツールを用いて内面を研削加工された石英ガラス円筒体の内面を、高寸法精度を維持しながら、ダイヤモンドツールによる研削傷を残すことなく研磨することを可能とした新規な石英ガラス円筒体及びその内面研磨装置を提供する。【解決手段】ダイヤモンドツールを用いて、内面を研削加工された中空部を有する石英ガラス円筒体であり、該中空部の内面を、所定の寸法精度を維持しながら、研削加工時に生じたダイヤモンドツールによる研削傷を取り除き、実質的に傷がない鏡面に研磨加工されてなるものである。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンドツールを用いて、内面を研削加工された中空部を有する石英ガラス円筒体であり、該中空部の内面を、所定の寸法精度を維持しながら、研削加工時に生じたダイヤモンドツールによる研削傷を取り除き、実質的に傷がない鏡面に研磨加工されてなることを特徴とする石英ガラス円筒体。

IPC (5件)：

C03B 20/00 ,  B24B 5/40 ,  B24B 29/00 ,  C03B 37/012 ,  H01L 21/22 501

FI (5件)：

C03B 20/00 K ,  B24B 5/40 C ,  B24B 29/00 F ,  C03B 37/012 A ,  H01L 21/22 501 M

Fターム (23件)：

3C043AC03 ,  3C043AC28 ,  3C043CC06 ,  3C043CC07 ,  3C043CC11 ,  3C043DD05 ,  3C058AA06 ,  3C058AA07 ,  3C058AA14 ,  3C058AA18 ,  3C058AB01 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058BA09 ,  3C058BC02 ,  3C058CA01 ,  3C058CA02 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10 ,  4G014AH15 ,  4G014AH23 ,  4G021BA00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 穴内面研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-065622   出願人：住友電気工業株式会社
• 特開平4-210366
  
• 特開昭60-251141