特許
J-GLOBAL ID：200903085208111443
高周波電源
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-052763
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233294
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 電力増幅器の損失を制限する。【解決手段】 差動アンプ9では、(Vdc・Idcに対応した電圧)+(とPrに対応した電圧)-(Pfに対応した電圧)、即ち、電力増幅器3の損失PLと、基準電源11で設定された基準損失PLsとを比較している。損失PLが基準損失PLs以下の場合は、トランジスタ10はオフのままで、通常の出力制御が行われる。損失PLが基準損失PLsより大きい場合は、差動増幅器9は損失PLが基準損失PLsに等しくなるまで、その差信号を前記自動ゲインコントローラ2に供給する。自動ゲインコントローラにおいては、供給された差信号に応じて増幅率が変化させられ、その結果、入射高周波電力が絞られることになる。
請求項（抜粋）：
高周波発振器、該発振器からの高周波を増幅する可変増幅器、可変増幅器からの高周波電力を増幅する電力増幅器、負荷への高周波出力が供給され、該高周波出力に対応した信号と基準信号との差信号に基づいて前記可変増幅器の増幅度を変化させる第1制御系、及び、前記電力増幅器の損失に対応した信号と基準損失信号との差信号に基づいて前記可変増幅器の増幅度を変化させる第2制御系、前記電力増幅器の損失が基準損失を越えた時に前記第2制御系を作動させ、前記電力増幅器の損失が基準損失以下の時に前記第1制御系を作動させる制御回路を備えた前記電力増幅器高周波電源。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, G05F 1/44
, H01L 21/3065
H05H 1/46 R
, G05F 1/44 Z
, H01L 21/302 A
