特許
J-GLOBAL ID：200903085212411630
被研磨物保持材の製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-279204
公開番号（公開出願番号）：特開2002-079458
出願日： 2000年09月14日
公開日（公表日）： 2002年03月19日
要約：
【要約】【課題】被研磨物を保持する穴端面をプラスチックで覆って緩衝部材とする、金属製の被研磨物保持材の製造において、緩衝部材の接合強度を確実にする。【解決手段】周囲に歯11を形成し、内側に穴12をあけた金属製円板1を用意する。金属製円板1を、これより大なる外形寸法のプラスチックシート2で両面から挟む(a)。前記(a)の構成体を鏡面板で挟みプレス熱盤に投入して加熱加圧成形し、金属製円板1とプラスチックシート2を一体化する(b)。前記(b)の一体化物を、金属製円板1の歯11と穴12の形状に沿って外形加工する。この外形加工は、成形したプラスチックが金属製円板1の歯の端面と穴の端面を覆って残るように、金属製円板1の外形線よりも外側で行なう(c)。プラスチックシート2は、難燃剤を含まず可燃性が好ましい。
請求項（抜粋）：
研磨機に配置された歯車と噛合う歯を外周に有し、被研磨物を嵌め込み保持する穴を内側に有する被研磨物保持材を製造する方法であって、前記歯と穴を予め形成した金属製円板を用意し、前記金属製円板を金属製円板より大なる外形寸法のプラスチックシートで両面から挟み、これらを加熱加圧成形により一体化し、前記成形したプラスチックが金属製円板の歯の端面と穴の端面を覆って残るように、前記一体化物を金属製円板の歯と穴の形状に沿って外形加工することを特徴とする被研磨物保持材の製造法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 37/04 C
, H01L 21/68 N
3C058AA07
, 3C058AB01
, 3C058AB04
, 3C058AB06
, 3C058AB08
, 3C058DA06
, 3C058DA18
, 5F031CA02
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA10
, 5F031HA12
, 5F031HA48
, 5F031HA59
, 5F031MA22
, 5F031PA26
, 5F031PA30
