光干渉法による測定対象物の屈折率と厚さの同時測定方法及びそのための装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-233863
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218016
出願日： 1996年09月04日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】測定対象物の屈折率nと厚さtの分離測定を可能にし、低コヒーレント光干渉法による測定対象物の屈折率と厚さの同時測定を可能にする。【解決手段】透明板5の屈折率nと厚さtの同時測定を行うには、その透明板5の前面と後面の光路差n×t以外に、これと独立なもう一つの測定量を用意する。つまり、実際には、SLD1光を集光レンズ3で透明板5に集光して、その前面及び後面に焦点を合わせ、これら二つの集光状態の光路差と二つの集光状態を得るために必要な測定対象物(又は集光レンズ)の移動距離とを測定する。二つの面の焦点合せには、集光レンズ3を固定して透明板5を移動する「測定サンプル走査法」と、透明板5を固定して集光レンズ3を移動する「レンズ走査法」がある。また、群屈折率差による複屈折測定も可能にする。

請求項（抜粋）：

低コヒーレント干渉光学系と測定対象物又は集光レンズを搭載する微動ステージを備え、前記低コヒーレント干渉光学系の光を集光レンズで前記測定対象物に集光して、該測定対象物の前面及び後面に焦点を合わせ、これら二つの集光状態の光路差と二つの集光状態を得るために必要な測定対象物又は集光レンズの移動距離とを求め、測定対象物の屈折率と厚さとを同時に測定する光干渉法による測定対象物の屈折率と厚さの同時測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/06 , G01M 11/00 , G01N 21/41

FI (3件)：

G01B 11/06 G , G01M 11/00 L , G01N 21/41 Z

引用特許：

出願人引用 (4件)

フィルム厚の測定方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-224835 出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
厚み計測方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-233887 出願人：富士通株式会社
特開平4-313006

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