特許

J-GLOBAL ID：200903085223600680

半導体露光装置及び露光方法

発明者： 池田 利喜夫
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 山本 孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-338772
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161625
出願日： 1993年12月02日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】アライメント操作時に、あるいはオートフォーカス操作時に、レジストを露光することのない半導体露光装置を提供する。【構成】半導体露光装置は、(イ)レーザ光源10、(ロ)非線形光学結晶素子及び光共振器から成る第2高調波発生装置20、(ハ)第2高調波発生装置20から射出される光の強度の高低を制御するために、光共振器の共振器長を制御する共振器長制御装置30、(ニ)投影光学系62を具備している。そして、TTL方式アライメント検出系40あるいはオートフォーカス装置を備え、(A)第2高調波発生装置20から射出される高強度の光を投影光学系用光源として用い、(B)第2高調波発生装置20から射出される低強度の光を、TTL方式アライメント検出系用光源あるいはオートフォーカス装置の光源として用いる。

請求項（抜粋）：

(イ)レーザ光源、(ロ)非線形光学結晶素子及び光共振器から成り、該レーザ光源から射出された光が入射されそして該光の第2高調波に基づいた波長を有する光を射出する第2高調波発生装置、(ハ)第2高調波発生装置から射出される光の強度の高低を制御するために、該光共振器の共振器長を制御する共振器長制御装置、(ニ)投影光学系、及び、(ホ)TTL方式アライメント検出系、を具備した半導体露光装置であって、(A)第2高調波発生装置から射出される光が高強度の状態における第2高調波発生装置並びにレーザ光源を、投影光学系用光源として用い、(B)第2高調波発生装置から射出される光が低強度の状態における第2高調波発生装置並びにレーザ光源を、TTL方式アライメント検出系用光源として用いることを特徴とする半導体露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505

FI (4件)：

H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 507 E ,  H01L 21/30 507 P ,  H01L 21/30 514 C