特許
J-GLOBAL ID：200903085225391948
露光量制御方法及び該方法を使用する走査型露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-067740
公開番号（公開出願番号）：特開平10-261577
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】 走査型露光装置で露光光の照度を制御してウエハに対する露光量を制御する場合に、その露光装置で本来の露光動作とは別に露光用光源における電力と出力光の照度との関係を計測するための動作を行うことなく、その電力と出力光の照度との関係を正確に求める。【解決手段】 露光用光源1からの露光光を高反射率のビームスプリッタ3を介して照度センサ8で直接検出する。ビームスプリッタ3で反射された露光光が、シャッタ4、フライアイレンズ9、及びコンデンサレンズ14等を介してレチクルRを照明する。露光コントローラ26は、可変電源31を介して露光用光源1に供給される電力Eの設定値、及びこれに対応して照度センサ8で計測される照度の組よりなる計測データを連続的に記憶し、これらの計測データよりその電力Eと照度との関係を更新していく。
請求項（抜粋）：
マスク及び基板を同期して移動して、露光用光源からの照明光で照明された前記マスクのパターンを前記基板上に転写する露光装置で、前記基板に対する露光量を制御するための露光量制御方法において、前記露光用光源に供給される駆動電力を検出すると同時に、前記露光用光源から出力される照明光の照度を前記露光用光源の直前で直接検出するモニタ動作を継続して行い、一連の前記モニタ動作によって蓄積される計測データに基づいて、前記露光用光源から所望の照度の照明光を得るための駆動電力を設定するための制御特性を更新し、該更新された制御特性に基づいて前記露光用光源を駆動することを特徴とする露光量制御方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 516 D
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 518
