特許
J-GLOBAL ID：200903085230708720
位置修正装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-081475
公開番号（公開出願番号）：特開平6-268336
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 位置合わせ作業を良好に行うことができ、かつ、被位置合わせ体を損傷させることも回避できる位置修正装置を提供する。【構成】 空気圧源40に第1、第2電磁弁41、42を接続し、両電磁弁に第1、第2ノズル43、44をそれぞれ接続する。ノズルは支持治具20上に配置されたステム1の外周に形成されている切欠部18を目掛けて空気が吹き出される位置に配置し、第1ノズル43の開口はステム1を反時計方向に回転する方向に、第2ノズル44の開口はステム1を時計方向に回転する方向に配置している。両電磁弁41、42は両ノズル43、44から交互に空気を吹き出させる。【効果】 第1、第2ノズル43、44から交互に吹き出された空気によってステム1が回転し、ステムの切欠部18が周方向に移動することにより、支持治具に設けられている位置決め凸部28に損傷なく挿入される。
請求項（抜粋）：
被位置合わせ体の周面に形成されている位置決め部の位置ずれを修正する位置修正装置であって、被位置合わせ体の周面に形成されている位置決め部を目掛けて空気が噴射される一対のノズルを備えており、これらのノズルの開口は前記被位置合わせ体を互いに反対方向に回転する方向に配置されているとともに、空気が交互に噴射されるように構成されていることを特徴とする位置修正装置。
IPC (4件)：
H01S 3/18
, G11B 7/125
, G11B 7/22
, H01L 21/52
