特許

J-GLOBAL ID：200903085243385009

基板角度位置検出装置

発明者： 青山 正昭 ,  川口 透
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-322483
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145254
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】基板1に設けられたノッチ1bなどの非円弧部の角度位置を精度良く検出する。【解決手段】基板1を載置する回転テーブル2と、基板1の外形部分によって光束4が部分的に遮光されるように配置された投光系3と、投光系3からの光束4のうち基板1によって遮光されなかった透過光の光量を検出する検出器5とを有し、回転テーブル2を回転しつつ検出器5の出力を測定することにより、基板1の非円弧部1bの角度位置を検出する基板角度位置検出装置において、投光系3から発せられる光束4として発散光又は収れん光を用い、あるいは、投光系3の光軸3cを基板1の表面に対して傾斜して配置し、あるいは、投光系3の光源素子3aとして輝点とその近傍の反射率を低下させた素子を用い、あるいは、投光系3を基板1の加工面1cの裏面側に配置し検出器5を加工面1c側に配置する構成とした。

請求項（抜粋）：

平面形状円形の一部分に前記円形から外れた非円弧部を設けた基板の中央部分を載置する回転テーブルと、前記基板の外形部分によって光束が部分的に遮光されるように配置された投光系と、該投光系からの光束のうち前記基板の外形部分によって遮光されなかった透過光の光量を検出する検出器とを有し、前記回転テーブルを回転しつつ前記検出器の出力を測定することにより、前記基板の前記非円弧部の角度位置を検出する基板角度位置検出装置において、前記投光系から発せられる光束のうち前記基板で反射した光束が前記検出器に入射されないようにしたことを特徴とする基板角度位置検出装置。