特許

J-GLOBAL ID：200903085247385542

自重支持装置

発明者： 堆 浩太郎 ,  小山内 英司 ,  鎌田 重人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-277325
公開番号（公開出願番号）：特開平7-111238
出願日： 1993年10月12日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：

【要約】【目的】 極めて高い面精度が要求される構造体の自重を、その構造体の面精度を損なうことなく支持する。【構成】 被駆動体1を、基盤6より重力方向に移動する駆動手段7,8,9と、被駆動体の自重を駆動後の位置に支持する支持手段10,11,13,14,15とを具えた自重支持装置において、前記駆動手段の発生力と前記支持手段の支持力が同軸上に来るように駆動手段と支持手段を配置する。

請求項（抜粋）：

被駆動体を、基盤より重力方向に移動する駆動手段と、被駆動体の自重を駆動後の位置に支持する支持手段とを具えた自重支持装置において、前記駆動手段の発生力と前記支持手段の支持力が同軸上にあることを特徴とする自重支持装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B23Q 1/03 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 503 B ,  B23Q 1/02 T

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-021648
  
• 特開昭63-021648
  
• 特開昭63-078091
  
• 特開昭63-078091