体積抵抗の連続測定方法とその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小野寺洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-263814
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118105
出願日： 1992年10月01日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】測定子と被測定物表面の接触抵抗の影響を無くして精密な体積抵抗値を連続的に測定する。【構成】測定子1を測定子ホルダ2に回動自在に取り付け、板バネ3と重り4で被測定物表面に一定の荷重をもって線または点接触で弾圧させる。測定子1と被測定物5の表面に倣って相対的に移動せてその抵抗値を連続的に測定する。【効果】接触面積が小さいため、また被測定物の表面に倣って追従するため、接触抵抗の影響が測定値に及ばない。

請求項（抜粋）：

連続的な表面を持つ被測定物の体積抵抗の分布を連続的に測定するための体積抵抗の連続測定方法において、前記被測定物の表面に1次元で接触して前記被測定物に対して相対的に回転移動する測定子を用いて前記被測定物の体積抵抗の分布を連続的に測定することを特徴とする体積抵抗の連続測定方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭60-211070
特開昭61-011671

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