特許
J-GLOBAL ID：200903085253810239
レプリカ回折格子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-293295
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146405
出願日： 1993年11月24日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】 マスター回折格子の溝周期、形状等に依存せずに所望の溝周期、形状のレプリカ回折格子の製造を行うことを目的とする。【構成】 マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜と形状記憶材料からなるレプリカ基板とを接着剤を介して圧接した後剥離させ、該金属薄膜をレプリカ基板に反転接着させる。そして温調制御によりレプリカ基板の形状、溝周期を変える。
請求項（抜粋）：
マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して圧接した後剥離させ、該金属薄膜をレプリカ基板に反転接着させてなるレプリカ回折格子において、前記レプリカ基板を形状記憶材料で構成したことを特徴とするレプリカ回折格子。
引用特許：
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