特許
J-GLOBAL ID：200903085258989083
多段処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-142648
公開番号（公開出願番号）：特開平7-326651
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【構成】 処理装置本体1には前面開口した処理室2を上下方向に多段に設ける。処理装置本体1の両側部には昇降駆動されるリフター5が突出しており、リフター5の前端部には被処理物3を載置して水平方向にスライドするスライダー71を設ける。スライダー71は、受け渡し位置pで作業用ロボットBから被処理物3を移載されると、予めプログラムされた処理室2へ移動し、処理室2内へ被処理物3を納める。【効果】 処理装置本体に昇降可能なスライダーを設けたので、処理装置本体の処理室を多段に構成することができ、クリーンルーム内の高さ方向の空間使用効率を高めることができる。
請求項（抜粋）：
少なくとも上下方向に配列された複数の処理室を処理装置本体に設け、被処理物をほぼ水平に運んで処理室内に納入し、あるいは処理後の被処理物を処理室からほぼ水平に取り出すための水平移動体を前記処理装置本体に上下方向に移動可能に設けたことを特徴とする多段処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 535
, B65G 1/04 561
, H01L 21/027
