特許
J-GLOBAL ID:200903085259087156
光モジュール
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
草野 卓
, 稲垣 稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-067637
公開番号(公開出願番号):特開2005-257911
出願日: 2004年03月10日
公開日(公表日): 2005年09月22日
要約:
【課題】 取り扱い易く、安価で高性能な光モジュールを提供する。【解決手段】 多層ベース基板51上に単結晶シリコンよりなる基台41が搭載され、その基台41に上下両面から異方性エッチングにより貫通形成された穴42の上半部の傾斜壁面42aに光学フィルタ44が立設される。穴42の下半部に位置するように多層ベース基板51上に受光素子56が搭載される。基台41の上面に配置された光ガイド(光ファイバ62)から出射された受信光63は光学フィルタ44によって反射されて受光素子56に入射し、基台41の上面に搭載された発光素子46から出射された送信光64は光学フィルタ44を透過して光ガイドに入射する。多層ベース基板51の上面に凹部61を形成し、その凹部61内に受光素子56の出力信号を処理する信号処理回路59を実装して収納する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
多層ベース基板上に単結晶シリコンよりなる基台が搭載され、その基台に上下両面から異方性エッチングにより貫通形成された穴の上半部側の傾斜壁面に光学フィルタが立設され、上記穴の下半部に位置するように上記多層ベース基板上に受光素子が搭載され、上記基台の上面に配置された光ガイドから出射された受信光が上記光学フィルタによって反射されて上記受光素子に入射され、上記基台の上面に搭載された発光素子から出射された送信光が上記光学フィルタを透過して上記光ガイドに入射される構造とされた光モジュールであって、
上記多層ベース基板の上面に凹部が形成され、
その凹部内に、上記受光素子の出力信号を処理する信号処理回路が収納されて実装されていることを特徴とする光モジュール。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (16件):
2H137AA01
, 2H137AB05
, 2H137AB06
, 2H137AC04
, 2H137BB02
, 2H137BB12
, 2H137BB14
, 2H137BB25
, 2H137BC33
, 2H137CA18A
, 2H137CA18D
, 2H137CA18F
, 2H137CA73
, 2H137CA75
, 2H137CC01
, 2H137EA04
引用特許:
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