特許

J-GLOBAL ID：200903085264025762

ワーク表面の検査装置と検査方法

発明者： 杉村 利之
出願人/特許権者： 株式会社住友金属セラミックス
代理人 (1件)： 吉村 博文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-159145
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005573
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】 ワーク表面の異物や突起の有無を高精度に、しかもワーク表面全面について均一で安定した検出精度で検出検査できるワーク表面の検査装置と検査方法を提供する。【構成】 ワーク表面を照明する光源と、該ワーク表面を撮像する撮像手段とを備え、該光源によって照明されたワーク表面を撮像手段によって撮像して、該ワーク表面上の異物、突起等の有無を検査するワーク表面の検査装置において、前記光源が、該ワークの一側方斜め上方で該ワーク表面に対して浅い入射角度で照明光を射出する位置に配置され、前記撮像手段が該ワークの他側方斜め上方で該ワーク表面に対して浅い撮像角度で撮像する位置に配置されている構成よりなる。

請求項（抜粋）：

ワーク表面を照明する光源と、該ワーク表面を撮像する撮像手段とを備え、該光源によって照明されたワーク表面を撮像手段によって撮像して、該ワーク表面上の異物、突起等の有無を検査するワーク表面の検査装置において、前記光源が、該ワークの一側方斜め上方で該ワーク表面に対して浅い入射角度で照明光を射出する位置に配置され、前記撮像手段が該ワークの他側方斜め上方で該ワーク表面に対して浅い撮像角度で撮像する位置に配置されていることを特徴とするワーク表面の検査装置。