特許
J-GLOBAL ID：200903085269586835
固体撮像装置およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-164877
公開番号（公開出願番号）：特開平7-022599
出願日： 1993年07月02日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【目的】 マイクロレンズを集光効果に優れたものにする。更に、マイクロレンズ表面における入射光の反射を抑えたものとする。【構成】 熱軟化性樹脂層15を低圧下で加熱して軟化させるため、熱軟化性樹脂の熱流動性を容易にコントロールすることができ、マイクロレンズ16を均一な形状に再現性よく、しかも無効領域の割合が少ない状態に形成することができる。また、熱軟化性樹脂層15をプラズマ雰囲気中で加熱する場合には、マイクロレンズ16の表面を熱非軟化性薄膜層、望ましくはフッ素原子を含んだ低屈折率の薄膜層18で覆うようにすることができる。
請求項（抜粋）：
受光部および電荷転送部が形成された半導体基板上に平坦化層を形成する工程と、該平坦化層の上に熱軟化性樹脂層を形成する工程と、該熱軟化性樹脂層の受光部に対向する部分を残した状態に熱軟化性樹脂層をパターン形成する工程と、パターン化された熱軟化性樹脂層を、大気圧よりも低い圧力状態の下で加熱して軟化させ、マイクロレンズを形成する工程と、を含む固体撮像装置の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 27/14 D
, H01L 31/10 A
