特許
J-GLOBAL ID:200903085279839294
コンピュータ制御による多重角照射システム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
頓宮 孝一 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-052820
公開番号(公開出願番号):特開平5-288685
出願日: 1992年03月11日
公開日(公表日): 1993年11月02日
要約:
【要約】【目的】全検査システムの光学検査システムの一部としての照射システムで、対象物に照射して検査を行う。【構成】照射システムは、コンピュータ制御によって照射の強度レベル及び入射角度を調整する。照射システムは、照明制御エレクトロニクス、カッド石英ハロゲンランプ・アレイ光源、光ファイバ・ライン・コンバータ及び照射集光システムで構成し、視準器レンズ・アレイと集束/フィールド・カバレッジ・レンズを有する。【効果】本発明は、PCB上の誤りの欠陥判定に最適の装置と方法を提供する。又、人のPCBへの接触が最小となり、検査能力が向上する。
請求項(抜粋):
対象物の表面に光を複数の入射角度で当てる複数の光源と、上記複数の光源それぞれの一定の照度を維持する照射制御エレクトロニクスと、上記複数の光源それぞれからの光を光ファイバ束に結合する複数の光ファイバ・ライン・コンバータと、対象物の表面に光を合わせるための複数のレンズ集光システムとを有する対象物の表面を検査するための照射システム。
IPC (4件):
G01N 21/84
, G01N 21/01
, G01N 21/88
, H05B 37/02
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