特許
J-GLOBAL ID：200903085281089693
試料保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-258801
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097133
出願日： 1994年09月28日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 試料を歪ませることなく所定の位置に正確に保持可能にする【構成】 ホルダ本体10上に3つのヒンジ板11によりチャック基板12を上下方向にのみ移動自在に取り付ける。チャック基板12には3つの突起18が設けられ、試料17を3点支持するようになっている。試料17は突起18と同軸上に上下動自在に配置された3つのクランパ19によって歪を生じることなくすなわち平面度を変化させることなくチャック基板12に固定される。試料17の高さ及び姿勢(傾き)はチャック基板12の下方に設けた基板支持手段の3つのピン14を上下させることにより調整され、かつ設定される。
請求項（抜粋）：
荷電ビーム描画装置等における試料保持装置において、ホルダ本体と、このホルダ本体上に上下方向にのみ移動自在に取り付けられたチャック基板と、ホルダ本体に取り付けられ前記チャック基板をそれぞれ高さ調整可能に3点で支持する基板支持手段と、前記ホルダ本体に上下動自在に取り付けられ前記チャック基板とこのチャック基板上に3点支持により置かれた試料との3点支持部の各々を上下方向から挟み込む3つのクランパとを備えたことを特徴とする試料保持装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, H01L 21/68
, B23Q 3/06 302
