特許

J-GLOBAL ID：200903085284276303

放射線検出装置の製造方法

発明者： 田村 知之 ,  長野 和美
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-242446
公開番号（公開出願番号）：特開2003-057351
出願日： 2001年08月09日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【課題】 高感度、高鮮鋭、安価な放射線検出装置の製造方法を提供する。【解決手段】 図1(a)は、光検出器用基板1上に形成され光検出器を示す。(b)では、光検出器の光電変換素子間隙3上に、一回または複数回のスクリーン印刷により小粒径蛍光体粒子からなる蛍光体層5を形成する。(c)では、光検出器の光電変換素子2の上に、一回または複数回のスクリーン印刷により大粒径蛍光体粒子からなる蛍光体層6を形成する。(d)では、すでに形成された蛍光体層の小粒径蛍光体層上にさらに重ねてスクリーン印刷により小粒径蛍光体粒子からなる蛍光体層5を形成する。(e)では、すでに形成された蛍光体層の大粒径蛍光体層上にさらに重ねてスクリーン印刷により大粒径蛍光体粒子からなる蛍光体層6を形成する。小粒径蛍光体層印刷と大粒径蛍光体層印刷を交互に複数回行うことにより、所定厚さの蛍光体層を形成できる。

請求項（抜粋）：

複数の光電変換素子とそれら各光電変換素子上に形成された蛍光体層の蛍光体粒子の粒径に比較し、光電変換素子間隙上に形成された蛍光体層の蛍光体粒子の粒径が小さい放射線検出装置の製造方法であって、光検出器上に、下記第1の工程を行った後、第2の工程を行うことを複数回繰り返し行う工程を含むことを特徴とする放射線検出装置の製造方法:a)メッシュスクリーンを用いて1回または複数回のスクリーン印刷と乾燥を行い、光電変換素子間隙上に一対一で対応した蛍光体層を形成する第1の工程、b)メタルスクリーンを用いて1回または複数回のスクリーン印刷と乾燥を行い、光電変換素子上に一対一で対応した蛍光体層を形成する第2の工程。

IPC (4件)：

G01T 1/20 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/09 ,  C09K 11/00

FI (7件)：

G01T 1/20 E ,  G01T 1/20 B ,  G01T 1/20 G ,  C09K 11/00 B ,  H01L 31/00 A ,  H01L 27/14 K ,  H01L 27/14 D

Fターム (35件)：

2G088EE01 ,  2G088FF02 ,  2G088GG16 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ37 ,  2G088LL12 ,  2G088LL13 ,  2G088LL15 ,  4H001CA02 ,  4H001CA08 ,  4H001XA08 ,  4H001XA16 ,  4H001XA64 ,  4H001YA65 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118CA32 ,  4M118CA34 ,  4M118CB05 ,  4M118CB11 ,  4M118FB13 ,  4M118GA10 ,  4M118GD14 ,  5F088AB05 ,  5F088BA10 ,  5F088BA20 ,  5F088BB07 ,  5F088EA08 ,  5F088GA02 ,  5F088HA11 ,  5F088HA15 ,  5F088LA08