気体軸受装置およびステージ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-289213
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108059
出願日： 1997年10月07日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：

【要約】【課題】超高真空内や高純度に管理された特殊雰囲気内でも十分使用可能な気体流出の少ない静圧気体軸受装置を提供する。【解決手段】可動部材と、可動部材に対し微小隙間を介して対向する固定部材と、微小隙間に気体を供給する気体供給手段と、供給した気体を気体軸受として作用させた後に回収するための気体排気手段と、気体排気手段の排気口と気体が外に流出する出口との間に磁性流体シール手段を構成したことを特徴とする気体軸受装置。

請求項（抜粋）：

可動部材と、該可動部材に対し微小隙間を介して対向する固定部材と、該微小隙間に気体を供給する気体供給手段と、供給した気体を気体軸受として作用させた後に回収するための気体排気手段と、該気体排気手段の排気口と気体が外に流出する出口との間に磁性流体シール手段を構成したことを特徴とする気体軸受装置。

IPC (3件)：

F16C 32/06 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (3件)：

F16C 32/06 Z , H01L 21/68 K , H01L 21/30 515 G

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