感光性樹脂積層体

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-329267
公開番号（公開出願番号）：特開平6-175360
出願日： 1992年12月09日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】高解像度を得ることができる感光性樹脂積層体を得る。【構成】感光性樹脂積層体が、支持体(a)上に感光性樹脂層(b)、非粘着性樹脂層(c)、場合によって保護フィルム(d)を順次積層することによって得られ、非粘着性樹脂層(c)が実質的に透明であり、かつアルカリ水溶液に可溶又は分散可能でかつ、スルホン化ポリスチレン、スチレン/マレイン酸共重合樹脂又はそのエステル化樹脂、メチルセルロース樹脂、アクリル樹脂、変性エポキシ樹脂、ビニルアセタール樹脂から成る群のうち少なくとも1種の樹脂を主成分とし、実質的にタックフリーであることを特徴とする感光性樹脂積層体。

請求項（抜粋）：

支持体(a)上に感光性樹脂層(b)、非粘着性樹脂層(c)及び場合により保護フィルム(d)を順次積層して成る感光性樹脂積層体であり、前記非粘着性樹脂層(c)が実質的に透明であり、かつ、アルカリ水溶液に可溶又は分散可能であり、かつスルホン化ポリスチレン樹脂、スチレン/無水マレイン酸共重合樹脂又はそのエステル化樹脂、メチルセルロース樹脂、アクリル樹脂、変性エポキシ樹脂及びポリビニルアセタール樹脂から成る群から選ばれる少なくとも1種の樹脂を主成分とし、実質的にタックフリーであることを特徴とする感光性樹脂積層体。

IPC (4件)：

G03F 7/004 512 , B32B 27/30 , G03F 7/027 , G03F 7/038

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開昭56-054432
特開昭56-054432
特開昭59-177544

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