特許
J-GLOBAL ID：200903085297178335
真空蒸着装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-122320
公開番号（公開出願番号）：特開平7-331436
出願日： 1994年06月03日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：
【要約】【目的】本発明は、包装材料,写真材料などの分野に利用可能な各種機能を有したプラスチックフィルムの真空蒸着加工装置の蒸着室構造に特徴を有する装置および真空蒸着方法に関する。【構成】蒸発粒子がプラスチックフィルムへ到達堆積する際のプラスチックフィルムの表面に最初に堆積する蒸発粒子の飛行経路のフィルム巻き取り方向成分とプラスチックフィルム面の法線との成す角度(蒸着入射角度)の最大値が0度〜60度であることを特徴とする真空蒸着装置である。
請求項（抜粋）：
プラスチックフィルムの巻き取り式真空蒸着装置において、蒸発粒子がプラスチックフィルムへ到達堆積する際のプラスチックフィルムの表面に最初に堆積する蒸発粒子の飛行経路のフィルム巻き取り方向成分とプラスチックフィルム面の法線との成す角度(蒸着入射角度)の最大値が0度〜60度であることを特徴とする真空蒸着装置。
引用特許：
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