特許
J-GLOBAL ID：200903085305663850
スピナー装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-219293
公開番号（公開出願番号）：特開平8-080468
出願日： 1994年09月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、基板状に樹脂をスピンコート法により成膜するスピナー装置に関し、成膜される樹脂膜厚の面内分布を抑制し、均一な膜厚の樹脂膜を成膜することを目的とする。【構成】 第1の密閉用バー27と、第1の密閉用バーに切欠部を設けた第2の密閉用バー37と、第1、及び第2の密閉用バー27、37共通の蓋48とよりなる容器をスピンテーブル41上に設けて、スピンステージ41aとスピンステージ41a上に載置した基板10を囲繞する構成とする。
請求項（抜粋）：
モーターに接続されて回転するスピンテーブルと、該スピンテーブル上に設けられて該スピンテーブルと共に回転すると共に、成膜材料を表面に滴下されて被膜形成される基板が載置されるスピンステージと、該スピンテーブル上に配設され、該スピンステージ上に載置された該基板を囲繞する容器とを具備することを特徴とするスピナー装置。
IPC (3件)：
B05C 11/08
, H01L 21/027
, G03F 7/16 502
