特許
J-GLOBAL ID：200903085306407555
ターボ分子ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-235438
公開番号（公開出願番号）：特開平11-062882
出願日： 1997年08月15日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 弁装置を含めた全体をコンパクトに構成することができ、しかも弁の駆動機構による汚染を防止することができるターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】 ケーシング16内にロータRとステータSが収容され、これらのロータR及びステータSの間に排気流路が構成されたターボ分子ポンプにおいて、ケーシング16に設けられた吸気口18を開閉自在に覆う弁体20と、ロータR及び/又はステータSに形成された貫通孔52を挿通する弁体支持部材50を介して弁体20を駆動する弁駆動機構54と、弁体支持部材50を非接触で支持する磁気軸受装置70,72を有する。
請求項（抜粋）：
ケーシング内にロータとステータが収容され、これらのロータ及びステータの間に排気流路が構成されたターボ分子ポンプにおいて、前記ケーシングに設けられた吸気口を開閉自在に覆う弁体と、前記ロータ及び/又はステータに形成された貫通孔を挿通する弁体支持部材を介して前記弁体を駆動する弁駆動機構と、該弁体支持部材を非接触で支持する磁気軸受装置を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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