特許

J-GLOBAL ID：200903085308721001

研磨加圧装置

発明者： 高下 順治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-182029
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009698
出願日： 1999年06月28日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】 研磨基板の加工面全面での加圧力が均一になるように、研磨基板を研磨シートに圧接させる。【解決手段】 加圧用重り5の荷重により、軟弾性部材4と球形の加圧部材3を介して研磨基板1をラップ定盤1上の研磨シート10に圧接させる。研磨基板1に反りがあるなどの理由で発生する加圧部材3の加圧点での加圧力のばらつきは、軟弾性部材4の変形により緩和されるので、加工面に加わる圧力を実質的に均一にできる。また、加圧部分が加圧点に分散されているので、加圧点での加圧状態に対する周辺の加圧点での加圧状態の影響が小さい。このため、各加圧点で所望の加圧力を加えることができ、加工面に加わる圧力を均一化できる。

請求項（抜粋）：

ラップ定盤の平坦な研磨面に被加工物の加工面を圧接して加工する研磨加圧装置において、前記被加工物の前記加工面の反対側の面に配され、前記被加工物の側に複数の球面を有する加圧部材と、該加圧部材の前記被加工物の反対側に配された軟弾性部材と、該軟弾性部材と前記加圧部材とを介して前記被加工物に、前記加工面を前記研磨面に接触させる圧力を加える加圧手段とを有する研磨加圧装置。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/00 B ,  B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 622 K

Fターム (8件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AB04 ,  3C058BA05 ,  3C058BB04 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01