特許

J-GLOBAL ID：200903085313392660

フッ素含有水用処理装置

発明者： 大見 忠弘 ,  佐藤 伸 ,  高土居 忠 ,  三木 正博 ,  福留 敏郎 ,  前野 又五郎
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社 ,  橋本化成株式会社
代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-247307
公開番号（公開出願番号）：特開平6-063561
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【構成】フッ素含有水貯槽と、着脱自在な粒状炭酸カルシウム充填塔と、該貯槽からフッ素含有水を充填塔へ送液するための配管と、充填塔から出た処理水を該貯槽へ返送するための循環用配管とから構成されたフッ素含有水用処理装置。【効果】半導体製造分野などから排出されるフッ素含有廃液をそれぞれ個別に大がかりな配管工事が不要で経済的有利に処理し、該廃液中のフッ素を高純度のフッ化カルシウムとして回収することができる。

請求項（抜粋）：

フッ素含有水貯槽と、着脱自在な粒状炭酸カルシウム充填塔と、該貯槽からフッ素含有水を充填塔へ送液するための配管と、充填塔から出た処理水を該貯槽へ返送するための循環用配管とから構成されたフッ素含有水用処置装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭50-127872
  
• 特開昭53-064956
  
• 特開昭48-032357