特許

J-GLOBAL ID：200903085323927228

静電容量型センサの製造方法

発明者： 島岡 敬一 ,  田畑 修 ,  木村 雅人 ,  船橋 博文 ,  藤吉 基弘 ,  杉山 進 ,  中川 稔章 ,  鶴見 康昭
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-129040
公開番号（公開出願番号）：特開平6-340452
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】 シリコン構造体とガラス部材に形成された固定電極とを陽極接合時に接続して、両部材間の静電気力の発生を防止し、シリコン可動部と固定電極とに形成される間隙を狭くすることにより、高感度な静電容量型加速度センサを得る。【構成】 シリコン構造体70の表面の絶縁膜72上に形成した可動電極出力端子73と固定電極出力端子74とを接続する接続配線75を形成し、ガラス部材80に形成した固定電極リード84とシリコン構造体70に形成した固定電極出力端子リード78とがシリコン構造体70上にガラス部材80を載置することにより接合領域内で当接する。これによりガラス部材80の固定電極82とシリコン構造体70は電気的に接続され、陽極接合時に両部材70、82が同電位となり静電気力の発生を防ぐことができる。陽極接合後は可動電極出力端子73と固定電極出力端子74とを接続した接続配線75を切断する。

請求項（抜粋）：

可動部が形成された第1部材と前記可動部に対向する位置に固定電極が形成された第2部材を加熱及び電圧印加により陽極接合して前記可動部と固定電極との間に静電容量を形成する静電容量型センサの製造方法であって、陽極接合時には前記固定電極と前記可動部とを電気的に接続して前記第1部材と前記第2部材の前記固定電極以外の領域とを陽極接合し、前記陽極接合後は前記固定電極と前記可動部との電気的接続を切断することを特徴とする静電容量型センサの製造方法。